• 製造機種：旋回式ならびに回転式回転テーブル。
• ポジショニングの種類：上下逆向き及び直交配置。
• 直交回転テーブルは2スタンド回転テーブルとストレートスタンド回転テーブルに分類されます。
• 必要に応じ て方式のカスタム化も可能です。
• 上下逆向き及び直交配置回転テーブルにはシングルレイヤー及びダブルレイヤー式の二種類あります。
• アセンブリーの種類：1本、3本または4本モデル。
• 材質：SUS304またはチタン回転テーブル。

旋回式及び回転式製品

旋回式機種	回転式機種

上下逆向き及び直交配置型回転テーブル。

直交型：ウェーハは回転テーブルの「内側」からロードされます	上下逆向き型：ウェーハは回転テーブルの「外側」からロードされます

回転テーブルアセンブリーの種類（旋回式回転テーブルのみ）

1本旋回式	3本旋回式

シングルレイヤー及びダブルレイヤー式回転テーブル

回転式「シングルレイヤー」直交回転テーブル	回転式「ダブルレイヤー」上下逆向き回転テーブル

直交ウェーハ回転テーブル：プレート（2スタンド及び直立型）

2スタンド直交機種		直立機種