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YAU YUN
생성물
각종 코팅 플레이트
조립형 코팅 플레이트 3등분형 공전타입
일체형 공전타입
후면 배치형: Wafer를 코팅 플레이트 ‘외부’로부터 배치함.
정면 배치형: Wafer를 코팅 플레이트 ‘내부’로부터 배치함
공전형
공전/자전형
[이중-후면 배치형] 공전/자전형 코팅 플레이트
[단층-정면 배치형] 공전/자전형 코팅 플레이트
정명 배치형 코팅 플레이트의 웨이퍼 배치 방식 – 2 point형
2~8인치 코팅 플레이트
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